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📊 端到端資料生命週期

本章節只做一件事:把全系列模組串成一條故事線——一筆厚度量測從 MES 流入,到可能觸發 Hold Lot 的完整路徑。各段細節請點延伸閱讀。

讀完本篇你能回答

  • 一筆 Raw Data 經過哪些系統元件?
  • OOC 與 OOS 在哪個階段被判定?
  • 工程師 ACK 之後還會發生什麼?

場景

  • 來源:蝕刻量測 → MES 送出厚度 Raw Data(n=3n=3
  • 監控:Product A × Etch × Thickness → 控制圖 A

完整時序

六個階段(對應專文)

階段做什麼專文
1 路由Metadata 匹配 SpcPlanmonitoring-strategy
2 彙總Subgroup → X-bar, Rdata-collection
3 計算界限與 Cpk/Ppkcalculation-engine
4 判定Nelson + 出界 → SpcHisrule-engine
5 告警事務性任務、優先級detection-and-alert
6 閉環ACK → OCAP → Holddisposition-state-machine

常見卡關點

現象查哪篇
數據進不了圖monitoring-plan
Cpk 怪但圖正常calculation-engine
大量虛警spcDebugging
補點連續 OOCdetection-and-alert
告警漏發notification-reliability

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