跳至主要内容

📊 監控計畫與路由引擎

本章節解析 SPC 系統的「數據入口」機制。在現代化晶圓廠中，如何高效且精確地完成路由 (Routing)，是系統穩定性的基石。

1. 多層次定義域 (Domain) 管理​

監控計畫 (SpcPlanSpcPlan) 透過多維度的屬性定義了其監控範疇。

1.1 核心過濾維度​

  • 物理維度：廠別 (Fab)、機台 (Entity)、腔體 (Chamber)。
  • 邏輯維度：產品 (Product)、工序 (Operation)、量測項 (DataItem)。
  • 設計理由：半導體製程對「同質性」要求極高，必須透過路由引擎實現「腔體級」精細監控。

2. 高效匹配引擎設計​

2.1 萬用字元與正則匹配​

  • 系統支援 *（多字元）與 ?（單字元）匹配。

2.2 優先級路由邏輯​

  • 最精確匹配優先：若一筆數據同時符合多個計畫，系統會將數據路由至定義最精確者。
  • 匹配分數算法：根據定義中的精確字元數量計算權重。

3. 動態重新分流​

  • 追溯性分流：計畫修改後，可自動觸發歷史數據重新掛載。
  • 一致性保證：透過資料庫事務確保遷移過程中數據指標不遺失。

4. 領域專家思維：過濾器的權力​

專家不應過度使用萬用字元。

  • 過度定義的代價：寬鬆的路由會導致「異質數據混合」，扭曲管制界限。
  • 最佳實踐：使用「精確定義」，並利用「配置範本」快速複製計畫。