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🔰 Stream 總覽

本章節提供 SECS-II 十大 Stream 的導航地圖。每個 Stream 是一個訊息主題分類，底下有多則 SxFy 訊息，各自有標準名稱與用途。

資料來源聲明

本文 SxFy 名稱與用途摘要整理自 SEMI E5（SECS-II）公開慣例與產業實務，為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整訊息格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 SECS Interface Specification 為準。

Stream 地圖​

Stream名稱職責摘要深入文章
S1Equipment Status在線確認、通訊建立、上下線、狀態變數查詢s1-equipmentStatus
S2Equipment Control遠端指令、事件報告定義、常數/變數設定s2-equipmentControl
S3Material Status材料（晶圓/片盒）狀態查詢s3-s4-material
S4Material Control材料搬運與控制s3-s4-material
S5Exception / Alarm警報上報、啟用/停用、查詢s5-alarm
S6Data Collection事件資料收集與追蹤s6-dataCollection
S7Process Program配方（PP）上傳、下載、刪除s7-recipe
S8Control Program控制程式傳輸選讀（見下方）
S9Error Messages錯誤回報（不遵循奇偶配對）s9-error
S10Terminal Services終端機訊息顯示選讀（見下方）

最常用的訊息配對（入門必記）​

配對用途
S1F1 → S1F2心跳 / 在線確認
S1F13 → S1F14建立通訊（GEM 啟動必經）
S1F15 → S1F16請求 OFF-LINE
S1F17 → S1F18請求 ON-LINE
S1F11 → S1F12查詢狀態變數名稱清單
S1F3 → S1F4查詢指定狀態變數值
S2F41 → S2F42遠端指令（Remote Command）
S5F1警報主動上報（Equipment 發送）
S6F11事件資料上報（Collection Event）
S9F1對無效訊息的錯誤回覆

如何查一個代號？​

  1. 看 S 數字 → 找到上表對應 Stream 文章
  2. 在該 Stream 的 完整對照表 中查 F 數字
  3. 例如 S1F12 → S1 文章 → Status Variable Namelist Reply

選讀：S8 與 S10​

這兩個 Stream 多數 Host 工程師較少直接操作，入門階段了解用途即可。

S8：Control Program​

用於傳輸控制程式（與 S7 的 Process Program 配方不同）。常見於需下載可執行控制邏輯的設備類型。若廠商 Interface Spec 未列出 S8 Capability，可跳過。

S10：Terminal Services​

用於在設備端顯示文字訊息（類似終端機輸出），Host 可透過 S10F1 送文字給操作員看。除錯或人工介入場景偶爾會用到。

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