🔰 S2 設備控制 Stream

本章節整理 S2（Equipment Control and Diagnostics）的常用訊息。S2 是 Host 下達遠端指令與定義事件報告的核心 Stream。

資料來源聲明

本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 Spec 為準。

常用訊息對照表

代號	標準名稱	方向	配對	用途摘要
S2F13	Equipment Constant Request	H→E	→ S2F14	請求設備常數（ECID）值
S2F14	Equipment Constant Data	E→H	← S2F13	回覆 ECID 值
S2F15	New Equipment Constant Send	H→E	→ S2F16	設定新常數值
S2F16	New Equipment Constant Acknowledge	E→H	← S2F15	回覆設定結果（EAC）
S2F17	Date and Time Request	H→E	→ S2F18	請求設備日期時間
S2F18	Date and Time Data	E→H	← S2F17	回覆日期時間
S2F23	Trace Initialize Send	H→E	→ S2F24	啟動資料追蹤
S2F24	Trace Initialize Acknowledge	E→H	← S2F23	回覆追蹤啟動結果
S2F33	Define Report	H→E	→ S2F34	定義事件報告內容（RPTID）
S2F34	Define Report Acknowledge	E→H	← S2F33	回覆定義結果（DRACK）
S2F35	Link Event Report	H→E	→ S2F36	將 CEID 連結到 RPTID
S2F36	Link Event Report Acknowledge	E→H	← S2F35	回覆連結結果（LRACK）
S2F37	Enable/Disable Event Report	H→E	→ S2F38	啟用或停用事件報告
S2F38	Enable/Disable Event Report Ack	E→H	← S2F37	回覆啟用/停用結果（ERACK）
S2F41	Host Command Send	H→E	→ S2F42	發送遠端指令（RCMD）
S2F42	Host Command Acknowledge	E→H	← S2F41	回覆指令結果（HCACK）

重點：S2F41 → S2F42 Remote Command

GEM 中最常用的控制訊息。Host 透過 RCMD 下達標準化指令。

# S2F41 Body 示意
L 2
  A 13 "START"          # RCMD 指令名稱
  L 1                   # 參數列表
    L 2
      A 4 "PPID"
      A 8 "RECIPE01"

# S2F42 Body 示意
B 1 0                   # HCACK = 0（已執行）

HCACK 常見值

HCACK	意義
0	已執行 / Accepted
1	不存在此指令
2	目前無法執行
3	參數錯誤
4	已接受，將稍後執行

事件報告定義流程（S2F33–F38）

詳見 eventReport。

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• 訊息結構範例：secsStructure
• S6 事件資料：s6-dataCollection
• Stream 總覽：streamOverview