Skip to main content

🔰 S7 配方管理 Stream

本章節整理 S7（Process Program Management）的訊息對照。配方（Process Program, PP）是設備執行製程的參數集合，PPID 是其唯一識別名稱。Host 透過 S7 上傳、查詢、刪除配方，是 GEM 生產流程的核心能力之一。

資料來源聲明

本文 SxFy 名稱與用途摘要整理自 SEMI E5（SECS-II）公開慣例與產業實務，為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整訊息格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 SECS Interface Specification 為準。

Stream 職責​

S7 管理設備上的 Process Program（PP）：

  • Host 上傳配方到設備（Download）
  • Host 從設備下載配方（Upload）
  • Host 刪除設備上的配方
  • Host 查詢設備支援哪些 PPID

完整訊息對照表​

代號標準名稱方向配對用途摘要
S7F1Process Program Load InquireH→E→ S7F2詢問設備是否有足夠空間載入配方
S7F2Process Program Load GrantE→H← S7F1回覆是否允許載入（PPGNT）
S7F3Process Program SendH→E→ S7F4上傳配方內容到設備
S7F4Process Program AcknowledgeE→H← S7F3回覆上傳結果（ACKC7）
S7F5Process Program RequestH→E→ S7F6請求下載指定 PPID 的配方
S7F6Process Program DataE→H← S7F5回覆配方內容
S7F17Delete Process Program SendH→E→ S7F18刪除指定 PPID
S7F18Delete Process Program AcknowledgeE→H← S7F17回覆刪除結果（ACKC7）
S7F19Current Process Program Dir RequestH→E→ S7F20請求設備上所有 PPID 清單
S7F20Current Process Program Dir DataE→H← S7F19回覆 PPID 清單
caution

S7F7–F16 等進階訊息（如 Formatted PP）因設備而異，入門階段以 S7F1–F6 與 S7F17–F20 為主。實際支援清單請查廠商 Capability 文件。

核心概念：PPID​

PPID（Process Program ID） 是配方的名稱或編號，通常為 ASCII 字串。

# S7F3 Body 示意（上傳配方）
L 2
  A 8 "RECIPE01"     # PPID
  B 1 0              # PP Body（實際格式因設備而異，可能是 B[n] 或 L...）

同一台設備上每個 PPID 唯一。Host 下達 S2F41 START 時常帶 PPID 參數指定要用哪個配方。

典型流程​

上傳配方（Host → Equipment）​

PPGNT意義
0允許載入
1空間不足
2PPID 已存在且不允許覆寫
ACKC7意義
0接受
1拒絕（格式錯誤等）

下載配方（Equipment → Host）​

若 PPID 不存在，設備可能回 S9F7 或 S7F6 中含錯誤指示，視廠牌實作而定。

查詢配方清單​

S7F19 → S7F20 回覆設備上所有 PPID，Host 啟動時常用此步驟確認設備狀態。

與生產流程的關係​

  1. Host 以 S7 上傳或確認配方存在
  2. Host 以 S2F41 RCMD="START" + PPID 啟動製程
  3. 設備以 S6F11 回報 ProcessStart / ProcessEnd 事件

完整時序見 startupScenario。

與其他文章的關聯​