🔰 S6 資料收集 Stream

本章節整理 S6（Data Collection）的訊息。S6 負責將設備的生產事件與追蹤資料送達 Host。

資料來源聲明

本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 Spec 為準。

常用訊息對照表

代號	標準名稱	方向	配對	用途摘要
S6F1	Trace Data Send	E→H	—	追蹤資料上報（Trace 模式）
S6F2	Trace Data Acknowledge	H→E	← S6F1	Host 確認收到追蹤資料
S6F11	Event Report Send	E→H	—	事件報告上報（Collection Event）
S6F12	Event Report Acknowledge	H→E	← S6F11	Host 確認收到事件
S6F15	Event Report Request	H→E	→ S6F16	Host 主動請求事件資料
S6F16	Event Report Data	E→H	← S6F15	回覆請求的事件資料
S6F19	Individual Report Request	H→E	→ S6F20	請求單一報告內容
S6F20	Individual Report Data	E→H	← S6F19	回覆單一報告資料

重點：S6F11 事件報告

GEM 事件報告的核心。設備在 CEID 觸發時主動發送。

# S6F11 Body 示意
L 2
  U4 1 5001            # DATAID
  U4 1 100             # CEID（Collection Event ID）
  L 1                  # 報告列表
    L 2
      U4 1 1           # RPTID
      L 2              # 報告資料（依 S2F33 定義）
        A 8 "LOT001  "
        U4 1 25

前提：Host 須先透過 S2F33–F38 完成 Report 定義與 Event 連結。

S6F1 vs S6F11

項目	S6F1 Trace	S6F11 Event
觸發	週期性（S2F23 啟動）	事件驅動（CEID）
用途	連續感測器數據	狀態改變通知
資料量	高頻、大量	事件驅動、間歇

與其他文章的關聯

• S2 事件定義：s2-equipmentControl
• GEM 事件報告：eventReport
• Stream 總覽：streamOverview