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🔰 GEM 端到端啟動場景

本章節把分散在各篇文章的知識串成一條故事線:Host 從零開始連上一台設備,完成通訊建立、上線、定義事件、下載配方,直到設備回報生產事件。讀完本篇,你應能向同事描述完整的 SECS 啟動流程。

資料來源聲明

本文場景流程為學習筆記性質之原創整理,非 SEMI E30 全文轉載。實際設備步驟可能因廠牌而異,請以設備廠商 SECS Interface Specification 為準。

場景設定

  • Host:FAB 中央 EAP / MES 系統
  • Equipment:一台製程機台(Passive 模式,監聽 TCP 5000)
  • 目標:設備進入 ON-LINE / REMOTE,定義事件報告,下載配方並開始生產

完整時序圖

七個階段說明

階段 1:HSMS 連線

Host 主動連入 Equipment 的 IP:5000,送出 Select.req。Equipment 回 Select.rsp Status=0 表示 Session 建立。

  • 若 TCP 連不上 → 檢查網路、防火牆、Equipment IP
  • 若 Select 逾時 → 檢查 T7 計時器,見 hsmsConnection

階段 2:建立 SECS 通訊

S1F13 → S1F14,COMMACK=0 後進入 COMMUNICATING。這是 GEM 啟動的硬性門檻。

詳見 communicationState

階段 3:上線與遠端控制

S1F17 → S1F18 讓設備進入 ON-LINE。多數設備還需切換到 REMOTE 才接受 S2F41 指令——實作方式因廠牌而異,常見為 S2F41 RCMD="GO_REMOTE" 或設備內建邏輯。

詳見 controlState

階段 4:查詢設備能力

啟動後 Host 通常會:

  • S1F11 → S1F12:取得支援的 SVID 清單
  • S5F5 → S5F6:取得 ALID 清單,再決定啟用哪些警報

這一步讓 Host 知道「這台機台能回報什麼」。

階段 5:定義事件報告

四步驟定義鏈:S2F33 → S2F35 → S2F37,分別定義 RPTID 內容、連結 CEID、啟用 CEID。之後設備在事件觸發時會主動發 S6F11

詳見 eventReport

階段 6:配方管理

Host 可先 S7F5 查詢設備上是否已有配方,再以 S7F3 上傳新配方。PPID 是配方的唯一識別名稱。

詳見 s7-recipe

階段 7:開始生產

Host 以 S2F41 RCMD="START" 搭配 PPID 參數啟動製程。設備在關鍵節點發送 S6F11 事件(如 ProcessStart、ProcessEnd),Host 以 S6F12 確認收到。

Processing State 會在過程中從 IDLE 轉為 EXECUTING,詳見 processingState

平行進行的背景機制

機制訊息說明
心跳S1F1 → S1F2COMMUNICATING 期間定期確認在線
HSMS 心跳Linktest.req/rspTCP 層連線存活確認
警報上報S5F1設備異常時主動推送,不需 Host 請求
錯誤回覆S9F1收到無效訊息時 Equipment 回報

常見卡關點

現象可能原因查哪篇
TCP 連不上IP/Port 錯誤、防火牆hsmsConnection
S1F14 COMMACK≠0設備未就緒或已在通訊中communicationState
S1F18 ONLACK=1設備拒絕上線(如 Processing State 不允許)controlState
S2F42 HCACK≠0不在 REMOTE 或 RCMD 不支援s2-equipmentControl
收不到 S6F11CEID 未定義或未啟用eventReport
T3 逾時對端未回覆 W=1 訊息secsGemTesting

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