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🔰 GEM 警報管理

本章節從 GEM 行為層面說明警報管理流程。S5 Stream 定義了訊息格式（見 s5-alarm），本篇聚焦 Host 在實務中如何設定、監控與處理設備警報。

資料來源聲明

本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI E30 全文轉載。完整定義請以 SEMI 官方標準 為準。

GEM 警報管理在做什麼​

  1. 發現：設備有哪些 ALID？
  2. 篩選：哪些 ALID 需要 Host 監控？
  3. 上報：設備異常時如何通知 Host？
  4. 追蹤：警報 Set（觸發）與 Clear（排除）怎麼區分？

管理流程​

啟用與停用​

訊息用途
S5F3 → S5F4啟用或停用單一 ALID
S5F7 → S5F8批次啟用或停用多個 ALID

Host 啟動時通常只啟用關鍵 ALID（如設備安全、製程異常），避免被大量低優先警報淹沒。

ACKC5意義
0接受
1拒絕（ALID 不存在等）

S5F1 上報解讀​

設備偵測到已啟用的 ALID 異常時，主動發送 S5F1（W=0，不需 Host 先請求）：

# S5F1 Body 示意
B 1 128              # ALCD
U4 1 2001            # ALID
A 20 "ChamberTempHigh" # ALTX

ALCD 的 Set / Clear​

ALCD bit 0意義
0Clear：警報已排除
1Set：警報剛觸發

Host 應維護一張 ALID 狀態表，Set 時觸發告警動作（通知操作員、停機等），Clear 時解除告警。

嚴重度（ALCD 高位元）​

bit類別
7Personal Safety（人身安全）
6Equipment Safety（設備安全）
5–0警報類別編碼

人身安全類警報通常需要最高優先處理。

與其他 GEM 狀態的互動​

情境可能行為
嚴重 ALID Set設備可能自動進入 PAUSE 或 OFF-LINE
Processing State = EXECUTING 時警報設備可能中止製程並發 ProcessEnd 事件
通訊中斷已 Set 的警報狀態可能需重新查詢（S5F5）

Host 實務檢查清單​

  • 啟動時 S5F5 取得完整 ALID 清單
  • 依廠商文件啟用關鍵 ALID
  • S5F1 處理邏輯區分 Set / Clear
  • 人身安全類 ALID 有獨立告警通道
  • 通訊重建後重新同步警報狀態

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