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🔰 SECS 與 GEM 的關係

SECS 簡介​

  • SECS（Semiconductor Equipment Communication Standard）
  • SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）

SECS 是由 SEMI 制定的通信標準，用於半導體製造設備與製造執行系統（MES）之間的資料交換

SECS 標準包括 SECS-I、SECS-II 和 HSMS 等多個協議，確保設備與系統之間的通信可靠且高效

GEM 簡介​

  • GEM（Generic Equipment Model）

GEM 是 SEMI E30 標準的一部分，它定義了一組標準化的接口和行為，用於半導體製造設備與製造執行系統之間的交互

GEM 規範了設備應該如何報告狀態、處理命令以及發送資料，以便製造執行系統能夠有效地管理和控制設備。

SECS 與 GEM 的關係​

相互補充的標準​

  • SECS 提供通信基礎：

    • SECS 標準確立了半導體設備與製造執行系統之間的通信協議
    • SECS-I 和 HSMS 分別定義了基於 RS-232 和 TCP/IP 的通信方式
    • SECS-II 則定義了高層次的訊息結構和資料格式

  • GEM 定義設備行為：

    • GEM 規範了設備應該如何回應命令、報告狀態和發送資料
    • 它基於 SECS-II 訊息集，擴展了 SECS 的功能，使其更加適應製造環境中的需求
    • GEM 標準具體定義了設備應該支持的功能，例如報警管理、資料收集、設備控制等

共同實現設備管理​

  • SECS 作為通信協議：

    • SECS 標準確保了半導體製造設備與製造執行系統之間可以進行可靠的資料交換
    • 它提供了底層的通信協議，確保訊息可以在設備和系統之間傳輸

  • GEM 作為應用層協議：

    • GEM 在 SECS 基礎上構建，提供了一組標準化的應用層接口和行為規範，使得製造執行系統可以統一管理和控制不同廠商的設備
    • GEM 規範了設備的各種操作模式、資料報告方式和事件處理機制，確保了設備行為的一致性

實現標準化和互操作性​

  • 設備和系統的互操作性：

    • 由於 SECS 和 GEM 標準的存在，不同廠商的設備和系統可以實現互操作
    • 製造執行系統可以使用相同的方法來管理和控制來自不同廠商的設備

  • 標準化資料交換：

    • SECS 和 GEM 的結合使得資料交換標準化
    • 製造執行系統可以從設備獲取一致的資料格式
    • 無需為每個不同的設備編寫特定的解析和處理邏輯
    • 簡化了系統的開發和維護工作

SECS 和 GEM 的實際應用​

  • 製造執行系統（MES）：

    • MES 系統使用 SECS 和 GEM 來管理和控制半導體製造設備
    • 通過 SECS 標準來實現資料通信
    • 依據 GEM 規範來控制設備的運行和狀態報告

  • 設備供應商：

    • 設備供應商遵循 SECS 和 GEM 標準來開發和測試設備
    • 確保它們的設備能夠與不同的製造執行系統兼容