🔰 SECS 通訊協定
本章節解析 SECS 訊息如何從 Host 傳到 Equipment。SECS-II 定義「說什麼」，SECS-I 與 HSMS 定義「怎麼傳」——兩者分離是理解整個架構的關鍵。
1. SECS-II (SEMI E5)：信件的內容
SECS-II 定義訊息的內容與格式：
- 說什麼（例如
S1F1= Are You There） - 怎麼組織（List、ASCII、Integer 等 Data Item）
無論使用 SECS-I 或 HSMS 傳遞，SECS-II 訊息內容相同。
SECS-II 是溝通的核心內容，與傳遞方式無關。
訊息代號詳見 streamOverview。
2. 傳遞方式：SECS-I vs HSMS
2.1 SECS-I (SEMI E4)：RS-232 序列埠
- 底層：RS-232 序列埠（COM Port）
- 模式：點對點專線，一線一機
- 速度：常見預設 9600 bps（實作可更高）
- 距離：約 15 公尺以內
- 傳輸單位：以 Block 為單位，含長度、序號與 Checksum，透過 ENQ/EOT/ACK/NAK 握手
適用：老舊設備、單機連線。深入說明見 secs1BlockTransfer。
2.2 HSMS (SEMI E37)：TCP/IP 網路
- 底層：TCP/IP
- 預設 TCP Port：5000
- 模式：區域網路內一對多
- 速度：遠超 SECS-I（取決於網路頻寬）
HSMS-SS（Single Session，E37.1） 是現代晶圓廠的主流模式，每條 TCP 連線只維持一個 Session，簡化連線管理。
適用：現代 FAB、多機連線。深入說明見 hsmsConnection。
3. 連線參數對照
| 項目 | SECS-I | HSMS |
|---|---|---|
| 實體介面 | RS-232 | Ethernet |
| 位址 | COM Port 名稱 | IP + Port（預設 5000） |
| 連線數 | 1:1 | 1:N |
| SEMI 標準 | E4 | E37 / E37.1 |
4. 三者關係總結
| 特性 | SECS-I (E4) | HSMS (E37) |
|---|---|---|
| 底層協定 | RS-232 | TCP/IP |
| 連線方式 | 點對點 | 網路 |
| 速度 | 慢（常見 9600 bps） | 快 |
| 應用場景 | 老舊設備 | 現代工廠 |
現代半導體工廠以 HSMS + SECS-II + GEM 為主流組合。
5. 與其他文章的關聯
- 學習路徑：
index - SECS 簡介：
aboutSECS - SECS 與 GEM：
secsAndGem - 訊息結構：
secsStructure