🔰 SECS 學習路徑

本章節是 SECS 系列的導航首頁。若你從未接觸過半導體設備通訊，依下方順序讀完整系列，即可建立「概念懂、實務能對話」的基礎。

適用對象

• 剛進入 FAB 自動化、MES、EAP 領域的工程師
• 需要與設備廠商對接 SECS Interface 的開發者
• 想快速搞懂 S1F12、S2F41 等代號意義的讀者

先修知識：無。 本系列從 Host / Equipment 架構講起。

建議閱讀順序

第一階段：建立全局觀（概觀）

順序	文章	讀完能回答
1	SECS 簡介	SECS 是什麼？Host 和 Equipment 各做什麼？
2	SECS 通訊協定	SECS-I、SECS-II、HSMS 怎麼分工？
3	SECS 與 GEM	GEM 在 SECS 之上加了什麼行為？

第二階段：讀懂訊息代號（基礎）

順序	文章	讀完能回答
4	SECS-II 訊息結構	SxFy、W-Bit、Data Item 是什麼？
5	術語表	SVID、CEID、PPID、HCACK 各代表什麼？

第三階段：查訊息字典（Messages）

順序	文章	讀完能回答
6	Stream 總覽	S1–S10 各管什麼？
7	S1 設備狀態	S1F12、S1F13 等怎麼用？
8	S2 設備控制	遠端指令 S2F41 怎麼下？
9	S5 警報	設備怎麼上報 ALID？
10	S6 資料收集	S6F11 事件資料長什麼樣？
11	S7 配方管理	PPID 怎麼上傳下載？
12	S9 錯誤訊息	收到 S9F1 代表什麼？
選讀	S3/S4 材料搬運	晶圓搬運相關 Stream（進階場景）

第四階段：理解設備行為（GEM）

順序	文章	讀完能回答
13	通訊狀態機	怎麼從斷線到 COMMUNICATING？
14	控制狀態機	ON-LINE / REMOTE 怎麼切？
15	處理狀態	IDLE、EXECUTING 代表什麼？
16	事件報告	CEID、RPTID 怎麼定義？
17	警報管理	GEM 層怎麼管理 ALID？
18	端到端啟動場景	從連線到生產的完整時序

第五階段：協定與實務（Protocol + 除錯）

順序	文章	讀完能回答
19	HSMS 訊息格式	10-byte Header 各欄位意義
20	HSMS 連線生命週期	Select.req、T3 逾時怎麼除錯？
21	SECS-I 區塊傳輸	老設備 RS-232 怎麼傳？
22	測試與除錯入門	Log 怎麼看？常見失敗怎麼判斷？

讀完整系列後，你應該能

• 說清 SECS / GEM / HSMS 三層各自負責什麼
• 查任意常見 SxFy（S1/S2/S5/S6/S7/S9）並理解用途
• 描述設備從 TCP 連線 → 通訊建立 → 上線 → 定義事件 → 下配方 的訊息時序
• 閱讀 SECS log、與廠商討論 COMMACK、HCACK、DRACK 等回覆碼
• 判斷常見連線問題是 HSMS 層還是 GEM 層的問題

本系列不涵蓋

• SEMI 標準全文的逐條實作細節
• 各廠牌設備的 Capability 差異（請查廠商 Interface Spec）
• Host 端 SECS driver 的程式碼實作

快速查詢

• 不知道代號？→ 先查 Stream 總覽，再進對應 Stream 文章
• 不知道縮寫？→ 術語表
• 想看完整流程？→ 端到端啟動場景