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🔰 S3/S4 材料搬運 Stream

本章節入門介紹 S3（Material Status）與 S4（Material Control）。這兩個 Stream 主要用於晶圓、片盒（Carrier/FOUP）的狀態查詢與搬運控制，在自動化搬送（Stocker、OHT）與設備 Load Port 場景中較常見。

資料來源聲明

本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 Spec 為準。

何時需要 S3/S4​

場景相關 Stream
查詢 Load Port 是否有片盒S3
查詢片盒內晶圓位置與狀態S3
請求設備載入/卸載片盒S4
自動搬送系統與設備交接S3 + S4

若你負責的是純製程機台通訊（不涉及搬送），S1/S2/S6/S7 通常已足夠，S3/S4 可選讀。

S3：Material Status（狀態查詢）​

S3 讓 Host 查詢材料相關資訊，不直接執行搬運動作。

代號標準名稱方向用途摘要
S3F1Material Status RequestH→E請求指定材料的狀態
S3F2Material Status DataE→H回覆材料狀態
S3F3Material Status ChangeE→H設備主動通知材料狀態變更
S3F4Material Status ConfirmH→EHost 確認收到 S3F3
S3F5Material Foundry Status RequestH→E請求晶圓廠狀態（較少見）
S3F6Material Foundry Status DataE→H回覆晶圓廠狀態

常見查詢內容​

  • Load Port 上是否有 Carrier
  • Carrier ID（片盒識別碼）
  • Slot Map（各槽位是否有晶圓）

S4：Material Control（搬運控制）​

S4 讓 Host 下達搬運指令，如載入、卸載、移動材料。

代號標準名稱方向用途摘要
S4F1Material Transfer RequestH→E請求搬運材料
S4F2Material Transfer AcknowledgeE→H回覆搬運請求結果
S4F3Material Ready to SendE→H設備準備好送出材料
S4F4Material Ready to ReceiveH→EHost 準備好接收
S4F5Material Transfer CompleteE→H搬運完成通知
S4F6Material Transfer Complete AckH→EHost 確認搬運完成

簡化流程示意​

實際流程因設備類型（Etcher、Stocker、AMHS）差異很大，以上僅為概念示意。

與 GEM 的關係​

材料搬運事件常透過 S6F11 上報（如 CarrierArrived、CarrierRemoved），CEID 定義方式與一般事件相同，見 eventReport。

與其他文章的關聯​