🔰 GEM 事件報告
本章節解析 GEM 事件報告（Event Report）的定義與觸發流程。Host 透過 S2 定義「什麼事件要回報什麼資料」，設備在事件發生時以 S6F11 主動推送。
資料來源聲明
本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI E30 全文轉載。完整定義請以 SEMI 官方標準 為準。
核心概念
| 術語 | 全名 | 說明 |
|---|---|---|
| CEID | Collection Event ID | 事件編號（如「片盒載入」「製程結束」） |
| RPTID | Report ID | 報告編號，定義要回報哪些 VID/SVID |
| VID | Variable ID | 變數編號 |
| DATAID | Data ID | 事件資料識別碼 |
定義流程（四步驟）
常見 DRACK / LRACK / ERACK
| 值 | 意義 |
|---|---|
| 0 | 接受 |
| 1 | 拒絕（定義不合法） |
| 2 | 不存在此 ID |
| 3 | 已存在 |
與其他文章的關聯
- 端到端場景：
startupScenario - S2 定義訊息：
s2-equipmentControl - S6 上報訊息：
s6-dataCollection - SECS 與 GEM：
secsAndGem