🔰 GEM 處理狀態

本章節解析 GEM 的 Processing State（處理狀態）。它描述設備「正在做什麼」——是閒置、設定中、還是執行製程。Host 監控此狀態以判斷能否下指令或上線。

資料來源聲明

本文狀態定義為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI E30 全文轉載。完整定義請以 SEMI 官方標準 為準。

狀態一覽

狀態	意義	Host 常見動作
INIT	設備開機初始化中	等待，不發控制指令
IDLE	閒置，可接受新任務	可上線、下配方、下 START
SETUP	正在設定（如載入片盒）	等待 SETUP 完成
READY	設定完成，準備執行	可下 START 指令
EXECUTING	正在執行製程	監控 S6F11 事件，可下 STOP/ABORT
PAUSE	製程暫停	等待恢復或中止

資訊

並非所有設備都實作全部狀態。有些設備簡化為 IDLE / EXECUTING 兩態。實際狀態清單請查廠商 Spec 或 SVID。

如何查詢 Processing State

Processing State 通常作為 SVID（Status Variable） 回報，Host 以 S1F3 → S1F4 查詢：

# S1F3 請求示意
L 1
  U4 1 1002    # SVID = ProcessState（編號因設備而異）

# S1F4 回覆示意
L 1
  U1 1 4       # 值 = 4，可能代表 EXECUTING（對照廠商文件）

也可用 S1F11 → S1F12 先取得 SVID 名稱清單，找到 ProcessState 或類似名稱的編號。

與 Control State 的關係

Processing State 和 Control State（ON-LINE / REMOTE）是獨立維度：

Control State	Processing State	能否下 START？
OFF-LINE	IDLE	否（需先上線）
ON-LINE / REMOTE	IDLE	是
ON-LINE / REMOTE	EXECUTING	否（已在跑）
ON-LINE / LOCAL	IDLE	視設備而定

設備拒絕 ON-LINE（ONLACK=1）有時是因為 Processing State 仍在 INIT。

與事件報告的關係

狀態轉換常觸發 CEID 事件，Host 透過 S6F11 收到通知：

狀態轉換	常見 CEID 語意
IDLE → EXECUTING	ProcessStart
EXECUTING → IDLE	ProcessEnd
→ PAUSE	ProcessPaused

事件定義見 eventReport。

典型生產中的狀態流

完整場景見 startupScenario。

與其他文章的關聯

• 控制狀態：controlState
• S1 狀態查詢：s1-equipmentStatus
• S7 配方：s7-recipe
• 術語：glossary