🔰 S7 配方管理 Stream

本章節整理 S7（Process Program Management）的訊息對照。配方（Process Program, PP）是設備執行製程的參數集合，PPID 是其唯一識別名稱。Host 透過 S7 上傳、查詢、刪除配方，是 GEM 生產流程的核心能力之一。

資料來源聲明

本文 SxFy 名稱與用途摘要整理自 SEMI E5（SECS-II）公開慣例與產業實務，為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整訊息格式請以 SEMI 官方標準或設備廠商 SECS Interface Specification 為準。

Stream 職責

S7 管理設備上的 Process Program（PP）：

代號	標準名稱	方向	配對	用途摘要
S7F1	Process Program Load Inquire	H→E	→ S7F2	詢問設備是否有足夠空間載入配方
S7F2	Process Program Load Grant	E→H	← S7F1	回覆是否允許載入（PPGNT）
S7F3	Process Program Send	H→E	→ S7F4	上傳配方內容到設備
S7F4	Process Program Acknowledge	E→H	← S7F3	回覆上傳結果（ACKC7）
S7F5	Process Program Request	H→E	→ S7F6	請求下載指定 PPID 的配方
S7F6	Process Program Data	E→H	← S7F5	回覆配方內容
S7F17	Delete Process Program Send	H→E	→ S7F18	刪除指定 PPID
S7F18	Delete Process Program Acknowledge	E→H	← S7F17	回覆刪除結果（ACKC7）
S7F19	Current Process Program Dir Request	H→E	→ S7F20	請求設備上所有 PPID 清單
S7F20	Current Process Program Dir Data	E→H	← S7F19	回覆 PPID 清單

警告

S7F7–F16 等進階訊息（如 Formatted PP）因設備而異，入門階段以 S7F1–F6 與 S7F17–F20 為主。實際支援清單請查廠商 Capability 文件。

PPID（Process Program ID） 是配方的名稱或編號，通常為 ASCII 字串。

# S7F3 Body 示意（上傳配方）
L 2
  A 8 "RECIPE01"     # PPID
  B 1 0              # PP Body（實際格式因設備而異，可能是 B[n] 或 L...）

同一台設備上每個 PPID 唯一。Host 下達 S2F41 START 時常帶 PPID 參數指定要用哪個配方。

ACKC7	意義
0	接受
1	拒絕（格式錯誤等）

若 PPID 不存在，設備可能回 S9F7 或 S7F6 中含錯誤指示，視廠牌實作而定。

S7F19 → S7F20 回覆設備上所有 PPID，Host 啟動時常用此步驟確認設備狀態。

完整時序見 startupScenario。