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🔰 S5 警報 Stream

本章節整理 S5（Exception / Alarm）的訊息對照。當設備發生異常，S5 是 Host 第一時間得知的管道。

資料來源聲明

本文為學習筆記性質之原創整理，非 SEMI 標準全文轉載。完整格式請以 SEMI 官方標準 或設備廠商 Spec 為準。

完整訊息對照表​

代號標準名稱方向配對用途摘要
S5F1Alarm Report SendE→H—設備主動上報警報（不需回覆）
S5F2Alarm Report AcknowledgeH→E← S5F1Host 確認收到警報（可選）
S5F3Enable/Disable Alarm SendH→E→ S5F4啟用或停用指定 ALID
S5F4Enable/Disable Alarm AcknowledgeE→H← S5F3回覆啟用/停用結果（ACKC5）
S5F5List Alarms RequestH→E→ S5F6請求警報清單
S5F6List Alarm DataE→H← S5F5回覆所有 ALID 與狀態
S5F7Enable/Disable Alarm RequestH→E→ S5F8批次啟用/停用警報
S5F8Enable/Disable Alarm AcknowledgeE→H← S5F7回覆批次操作結果

重點：S5F1 警報上報​

Equipment 偵測到異常時主動發送（W=0），Host 不需先請求。

# S5F1 Body 示意
B 1 128              # ALCD（Alarm Code，含嚴重度等資訊）
U4 1 2001            # ALID（Alarm ID）
A 20 "ChamberTempHigh" # ALTX（Alarm Text）

ALCD 常見解讀​

位元區域意義
bit 7 = 1個人安全（Personal Safety）
bit 6 = 1設備安全（Equipment Safety）
bit 5-0警報類別編碼

GEM 警報管理流程​

  1. Host 以 S5F3/S5F7 啟用需要監控的 ALID
  2. 設備異常時 Equipment 發送 S5F1
  3. Host 以 S5F5 查詢完整警報清單
  4. 異常排除後，設備可能再次發 S5F1（ALCD 表示 Set/Clear）

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